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多晶硅除硼樹脂

作者:admin 發(fā)布日期:2022-03-10 15:28

多晶硅是制備硅太陽電池、各種硅分立器件和各種硅集成電路的基本原料,是發(fā)展太陽 能產(chǎn)業(yè)和信息微電子產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略物資。

要將1N?2N的工業(yè)多晶硅提純到6N?7N的太陽能級(jí)多晶硅和9N?12N電子級(jí)的多晶硅,現(xiàn)有的方法有物理方法和化學(xué)方法兩類。

雖然這些方法可以將大多數(shù)金屬雜質(zhì)去除,然而雜質(zhì)分凝提純的物理方法卻不適合于硅中硼和磷雜質(zhì)的去除,因?yàn)榕鹪诠柚械姆帜禂?shù)是0.8,磷是0.35,都接近1,分凝提純的效果很差。

 

吸附法是利用固體吸附劑來對(duì)多晶硅生產(chǎn)中的雜質(zhì)進(jìn)行吸附分離的操作方法,基本原理是基于化合物分子大小和極性的不同來吸附分離的。

多晶硅生產(chǎn)中的硼、磷雜質(zhì)如BCl3、PCl3等是具有相當(dāng)大的偶極矩的不對(duì)稱分子,具有很強(qiáng)的極性,強(qiáng)烈地趨向于形成加成化學(xué)鍵,很容易被吸附劑吸附。硼吸附機(jī)理主要是螯合作用,而且大多硼吸附劑主要利用功能基團(tuán)與硼的螯合作用來吸附除硼。磷吸附機(jī)理主要是配位絡(luò)合與離子交換形式的化學(xué)吸附。

總之對(duì)吸附劑的一般要求原則有:1)具有大的表面積;2)二具有大的表面活性。?

 

基于此,海普研發(fā)研發(fā)出多款多晶硅除硼樹脂,海普多晶硅除硼樹脂是一種具有多功能的特種樹脂,其既具有選擇性去除硼、磷雜質(zhì)的功能基團(tuán),又具有催化反歧化反應(yīng)基團(tuán),可滿足多晶硅行業(yè)相關(guān)應(yīng)用需求。

HPC-118適用于多晶硅中硼磷雜質(zhì)去除,同時(shí)還可輔助反歧化反應(yīng)。